行政院環境保護署今天修正發布「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」，並於發布日施行。環保署說明，本標準自民國88年1月6日發布施行，迄今已屆10餘年未檢討修正，經通盤檢討歷年執行實績及面臨問題後，修正標準以提升當前半導體產業空氣污染防制及管理機制。
環保署官員告訴中央社記者，目前此標準列管的業者共213家，其中有28家可能會因標準加嚴而受影響，但給予2年緩衝期改善；未來若是仍未能符合標準，可處10萬元至2000萬元罰鍰。
環保署提到，會受到衝擊的主要以中、小型業者為主，較大型的業者，如台積電，自身要求的排放標準都較本次訂定的標準更嚴格，因此基本上不受影響。
根據環保署新聞稿指出，原標準是不分規模以全廠揮發性有機物（VOCs）總排放量不得超過每小時0.6公斤；本次加嚴並改以個別排放管道VOCs濃度須小於14 ppm、酸氣（硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸）濃度小於0.5 ppm來規範；同時，增訂新設製程VOCs濃度不得大於10 ppm、酸氣濃度不大於0.3 ppm的排放標準，督促新建廠房或新設製程，應選擇環境友善或防制效能較佳設備。
環保署估算，藉由排放標準的修訂，預計可減少286公噸VOCs及12公噸酸性氣體排放量，相當於一座煉油廠4個月的排放量。
另外，環保署提到，本標準需配合「公私場所應定期檢測及申報之固定污染源」，簡化整合空污法涉檢測相關規定，同時針對排放濃度高且易致污染之虞者，應設置相關排放監測儀器以強化自主管理，有效減少污染物洩漏排放。
